2600B系列系统数字源表源测量单元（SMU）仪表是******的电流/电压源 与测量解决方案，它是利用吉时利第三代源测量单元（SMU）技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号，集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表（DMM）、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案，大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用，2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件，支持即插即用I/V测试，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用，2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP)，可以运行仪器内存储的完整测试程序，实现***的吞吐量。在更大型的多通道应用中，吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作，实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元（SMU）仪表具有不需要主机的、完全隔离的通道，因此，可以根据测试应用需求的进展，很容易进行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V测试软件

2600B系列数字源表是内置基于Java测试软件的源测量单元（SMU）仪表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个独特功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆，将2600B数字源表连接至互联网，打开浏览器，输入2600B的IP低至，即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表（如Excel），供进一步的分析和格式化，或者导入其他文档或演示文稿。

采用TSP技术，提供超乎想象的吞吐量，适合自动测试

对于需要自动化和吞吐量级别的测试应用来说，2600B数字源表的TSP技术提供了***的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它完全嵌入，然后，在源测量单元（SMU）仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信，因此，大幅缩短整个测试时间。

TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。

通过TSP-Link技术，实现SMU-Per-Pin并行测试

TSP-Link是通道扩展总线，支持多 个2600B系列数字源表互连，成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是，2600B在无需主机成本或负担 情况下，实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统，还支持***的灵活性， 可以根据测试需求的变化，迅速而容易 地对系统进行重新配置。

在TSP-Link系统中，所有通道的同步都控制在 500ns以内。

2400型软件仿真

2600B系列数字源表，与为吉时利2400 型数字源表源测量单元（SMU）仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列， 并使测试速度提高高达80%。此外，它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径，实施后，可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统，在这个模式下，还完全支持2400型源存储清单测试序列。

第三代SMU设计，确保实现更快的测试时间

在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上，2600B系列***的源测量单元（SMU） 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如，早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构，而2600 B系列采用了已申请*** 的串联量程调节结构，这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。

2600B系列数字源表源测量单元 （SMU）仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下，源测 量单元（SMU）仪表为吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下，源测 量单元（SMU）仪表使用较慢的带宽， 为较高电容负载提供鲁棒的性能。

简化半导体元件测试、验证与分析

可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的化，使客户可以在开发、质量认证或故障分析中，对封装器件进行特性分析。主要特性包括：

• 内容丰富、易于访问的测试库

• 脚本编辑器，实现现有测试的快速定制

• 数据工具，便于迅速比较测试结果

• 公式工具，便于分析俘获的曲线，并提供多种数据函数。

欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息，参见ACS Basic版本数据表。

强大的软件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件，免 费Test Script Builder软件工具，可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。

2600B系列产品3个***型号的双通道台式数字源表，提供***的价值和性能

如果想调试设计问题，首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题，如果没有合适的调试工具，这项任务耗时长、非常麻烦。

为了满足那些不需要***系统级自 动化能力的应用需求，吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展，推出3中***的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似，但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。

完整的自动化系统解决方案

吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统，适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元（SMU），提供 创新的测量特性与系统灵活性，可以根据需求进行升级。其独特的测量能力， 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件，为客户提供全面的应用 范围和特性，这是市场上竞争产品所不具备的。

典型应用

各种器件的I-V功能测试和特征分析，包括：

• 分立和无源元件
  – 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻（MOV）、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
  – 三抽头器件——小信号双极结型晶体管（BJT）场效应晶体管（FET），等等

• 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器

• 集成器件——小规模集成（SSI）和大规模集成（LSI） – 模拟IC
  – 射频集成电路（RFIC）
  – 专用集成电路（ASIC）
  – 片上系统（SOC）器件

• 光电器件，例如发光二极管（LED）、激光二极管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面发射激光器 （VCSEL）、显示器

• 圆片级可靠性
  – NBTI、TDDB、HCI、电迁移

• 太阳能电池

• 电池

• 更多…

• 在***和第三象限，2600B系列仪器用作信号源，向负载提供 电源。在***和第四象限，2600B系列仪器用作信号宿，内部 消耗功率。

• 

  2601B、2602B和2604B的I-V测试功能

  
  2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能
  2634B、2635B和2636B的I-V 测试功
  
  

  ***技术指标适用于普通模式和高电容模式。

  这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A（2601B、2602B和2604B）或数字源表CHANNEL B（2602B和2604B）终端。
  1. 23°C ±5°C，相对湿度<70%
  2. 经过2小时的预热
  3. 普通速度（1 NPLC）
  4. 启用A/D自动调零
  5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
  6. 校准周期=1年

  源技术指标

  电压源技术指标

  电压编程精度1

  量程编程分辨率精度（1年）23°C ±5°C±(% rdg. + 伏特数)典型噪声（峰-峰值）0.1Hz–10Hz

  td align="center">50 μV

  100 mV	5 μV	0.02% + 250 μV	20 μV
  1 V	50 μV	0.02% + 400 μV	50 μV
  6 V	0.02% + 1.8 mV	100 μV
  40 V	500 μV	0.02% + 12 mV	500 μV

  温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指标)/°C。
  仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。
  输出功率和源/宿极限3：每通道40.4W。±40.4V@±1.0A，±6.06V@±3.0A，四项限源或宿操作。
  电压调节：线：量程的 0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100μV)。
  噪声：10Hz～20MHz：
  电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限（柔度）。最小值10nA。精度与电流源 相同。
  过冲：典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%～90%，电阻负载，电流 极限/柔度。
  保护偏移电压：典型值 <4mV。电流 <10mA。

  电流源技术指标

  电流编程精度

  量程	编程分辨率	精度（1年） 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数)	典型噪声 （峰-峰值） 0.1Hz–10Hz
  100 nA	2 pA	0.06% +100 pA	5 pA
  1 A	20 pA	0.03% +800 pA	25 pA
  10 A	200 pA	0.03% + 5 nA	60 pA
  100 A	2 nA	0.03% + 60 nA	3 nA
  1 mA	20 nA	0.03% +300 nA	6 nA
  10 mA	200 nA	0.03% + 6 A	200 nA
  100 mA	2 A	0.03% + 30 A	600 nA
  1 A 5	20 A	0.05% + 1.8mA	70 A
  3 A 5	20 A	0.06% + 4 mA	150 A
  10 A 5, 6	200 A	0.5% + 40 mA (典型值)